螺桿真空泵傳動軸與驅動轉子相連，驅動轉子通過同步齒輪旋轉。殼體上開有冷卻水道，以冷卻轉子和排氣口的溫度。同步齒輪和軸承用機油潤滑。軸承和殼體用密封件密封，以達到無油效果。干式螺桿真空泵在密封和潤滑結構上與無油螺桿壓縮機相似。

通常，真空泵的排氣側使用機械密封，而進氣側使用雙唇密封。就傳輸方式而言，目前常見的模式是直接連接電機，它通過聯軸器與轉子連接，很少是由皮帶或傳輸鏈驅動。

由于沒有內部壓縮過程，恒螺距螺桿泵的排氣溫度非常高。如果冷卻效果不好，轉子和機殼會變形，從而影響泵送效果。冷卻機殼是不可缺少的一個環節，水冷是一種常用的方法。在殼體和軸承外部提供冷卻水，以冷卻殼體，然后冷卻轉子。